
PlasmaX-Lab全能型尝试等离子表表处置设备,,,,,,,,是一款专为精密表表工程设计的高端工具。。。。。。其铝质机关的450 x 300 x 300mm反映舱建设可视窗口,,,,,,,,提供40.5升的宽敞处置空间,,,,,,,,支持大领域的尝试需要。。。。。。选取怪异的二级等离子设计和水冷电极,,,,,,,,PlasmaX-Lab保障了处置过程中的极致均匀性和效能,,,,,,,,满足了高精度表表处置的严格要求。。。。。。
该设备搭载高效的螺杆真空泵和精确的薄膜规真空计,,,,,,,,能急剧达到所需的处置环境,,,,,,,,同时保障过程中的不变性。。。。。。其PLC节造系统通过触摸屏操作,,,,,,,,提供自动化处置流程、精确监控和参数调整能力,,,,,,,,大大提高了操作方便性和处置的可沉复性。。。。。。PlasmaX-Lab还支持双气体输入,,,,,,,,配有先进的气体流量节造器和液体输入系统,,,,,,,,确保了处置过程的矫捷性和多样性。。。。。。
此表,,,,,,,,PlasmaX-Lab强调安全机能,,,,,,,,建设急停�?????匾杂Χ源刮G榭�,,,,,,,,确保使用过程中的安全。。。。。。其380V AC, 50HZ, 40A的电源需要,,,,,,,,共同0~300W可调的频射产生器,,,,,,,,使得该设备不仅合用于多种资料处置,,,,,,,,同时也两全环保和能效。。。。。。

设备参数
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反映舱 |
资料:铝 有效尺寸:450 x 300 x 300mm 容积:40.5升 舱门:装有可视窗口 电极:二级等离子设计,,,,,,,,保障单层均匀性和层间均匀性。。。。。。同时蕴含水冷电极。。。。。。 样品盘:1套,,,,,,,,尺寸:350 x 250mm |
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真空度丈量 |
薄膜规真空计,,,,,,,,保障真空度丈量精度 |
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真空泵 |
螺杆真空泵;;;;;;;;24m3 /h |
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频射产生器 |
0~300W可调,,,,,,,,MHz产生器 |
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节造系统 |
触摸屏操作,,,,,,,,PLC节造系统 PLC可实现下列职能: 自动节造反映过程;;;;;;;; 凭据处置资料设定分歧的处置工艺流程;;;;;;;; 测定真空度、抽真空功夫、充气流速、处置功夫、温度、频射产生器输入功率等指标;;;;;;;; 监测所有的运行指标,,,,,,,,保障在设定领域之内;;;;;;;; 设定操作、守护密码。。。。。。 |
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电源 |
380V AC, 50HZ, 40A |
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反映气体 |
2个气体输入端口,,,,,,,,含气体流量节造器(MFC)。。。。。。 |
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气体输入 |
直径1/4’’ 管路;;;;;;;;输入压力:1Bar. |
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液体输入 |
蕴含液态单体气扮装置,,,,,,,,能够设定液态单体流量,,,,,,,,气化温度 |
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尾气排放 |
蕴含尾气输出端口 |
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安全机能 |
急停�?????� |